硅压阻式压力微传感器的设计与制造工艺研究指导老师：来五星作者：张勇杰潘挺周晶张晶渝魏佳易伟铭杨昆硅压阻式压力微传感器的设计与制造工艺研究摘要：硅压阻式压力传感器是最早开始研究并实用化的微传感器之一，它结构简朴、体积小、成本低、应用范围广，且已经实现大批量生产，在某些领域已经取代传统传感器。进一步研制小体积高精度的微传感器，扩大其合用范围是未来的趋势。本文一方面叙述了压阻式压力微传感器的原理和设...
