两步法生长氮化铝中缓冲层和外延层工艺研究

两步法生长氮化铝中缓冲层和外延层工艺研究两步法生长氮化铝中缓冲层和外延层工艺研究????????刘启佳,张荣,谢自力,刘斌,徐峰,姚靖,聂超,????修向前,韩平,郑有炓,龚海梅?南京大学物理系光电信息功能材料江苏省重点试验室,南京210093;?中国科学院上海技术物理研究所,上海80*E-mail:收稿日期:-01-24;接受日期:-02-27国家重点基础研究发展规划973项目(同意号:CB6049)、国家高技术研究发展规划、国家自然科学基金(同意号:6039072,607...