电子束光刻机项目可行性研究报告编写日期：二零二二年三月1目录第一章总论................................................................................11.1项目概要...............................................................11.1.1项目名称..................................................................................................................11.1.2项目建设单位..............................
材料显微分析X光化学分析一.分析理论基础及方法理论基础：莫塞莱定率h:plank常数K:与马德堡常数有关σ：屏蔽常数2)(KZh21Z即L系常用K系Z35Z35XRF激发源:一次X-Raye束EPMA不必导电，液体可试样：微区导电或镀膜Be4-u92相对较低，几百ppm；绝对较高，10－13－10－14g少量到百分之百可，必须校正照射区域：检测范围：含量限制：灵敏度：定量分析：展谱方式：大面积F9－u92(C6)相对较高，几－几十ppm；绝对较低。微...
电子束（荷质比）实验电子束（荷质比）实验大学物理实验大学物理实验一、实验目的一、实验目的1、了解示波管的结构；2、了解电子束发生电偏转、电聚焦、磁偏转、磁聚焦的原理；3、掌握一种测量荷质比的方法。难点：螺距的确定重点：电子在电场、磁场中的运动规律二、实验原理二、实验原理1、电偏转：电子束+横向电场2deVDkV2(1)edDkVV电电子束的偏转距离D：电偏转的灵敏度：二、实验原理二、实验原理2、磁偏转：电子束+...
电子束（荷质比）实验电子束（荷质比）实验大学物理实验大学物理实验一、实验目的一、实验目的1、了解示波管的结构；2、了解电子束发生电偏转、电聚焦、磁偏转、磁聚焦的原理；3、掌握一种测量荷质比的方法。难点：螺距的确定重点：电子在电场、磁场中的运动规律二、实验原理二、实验原理1、电偏转：电子束+横向电场2deVDkV2(1)edDkVV电电子束的偏转距离D：电偏转的灵敏度：二、实验原理二、实验原理2、磁偏转：电子束+...
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