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多晶硅生产内部资料II2008年2月6日2-104目录8尾气回收利用18.1尾气回收的方法18.1.1冷冻法3-104第八章尾气回收利用前言20世纪50年代，联邦德国西门子公司研究开发出大规模生产多晶硅的技术，即通常所说的西门子工艺。这种方法主要考虑如何获得高纯度的多晶硅，而对于在这个生产过程中所产生的尾气则没有加以考虑。后来随着生产规模的不断扩大，多晶硅生产技术的发展，多晶硅生产厂商认识到如果不对尾气进行回收和利用，多晶硅的...
多晶硅生产内部资料II2008年2月6日2-104目录8尾气回收利用18.1尾气回收的方法18.1.1冷冻法3-104第八章尾气回收利用前言20世纪50年代，联邦德国西门子公司研究开发出大规模生产多晶硅的技术，即通常所说的西门子工艺。这种方法主要考虑如何获得高纯度的多晶硅，而对于在这个生产过程中所产生的尾气则没有加以考虑。后来随着生产规模的不断扩大，多晶硅生产技术的发展，多晶硅生产厂商认识到如果不对尾气进行回收和利用，多晶硅的...
