主要内容Page2第一部分TCAD基本概念TCAD基本概念第二部分工艺仿真介绍工艺仿真介绍第三部分器件仿真介绍器件仿真介绍第四部分器件——电路混合仿真介绍器件——电路混合仿真介绍1TCAD基本概念Page3第一部分第二部分工艺仿真介绍工艺仿真介绍第三部分器件仿真介绍器件仿真介绍第四部分器件——电路混合仿真介绍器件——电路混合仿真介绍TCAD基本概念1.1.1TCAD基本概念-TCAD•TCAD:TechnologyComputerAidedDesign,指半导体...