电子探针EPMA[共58页]

电子探针X射线显微分析仪（X-RayElectronProbeMicroanalyzer，EPMA）1.1概述1.2EPMA基本原理1.3仪器基本结构1.4定性定量分析方法1.5样品制备1.6定量分析的步骤及注意事项1.1EPMA概述•电子探针X射线显微分析仪(ElectronprobeX-raymicroanalyser,EPMA)的简称为电子探针。•电子探针利用0.5μm－1μm的高能电子束激发分析试样，通过电子束与试样相互作用产生的特征X射线、二次电子、吸收电子、背散射电子及阴极荧光等信息来分析试...