重庆微光机电工程技术争论中心依托于重庆大学,主要合作单位有中国电子科技集团公司其次十四争论所等。中心主要从事MEMS设计、研发及加工关键技术争论、产业化转化和人才培育。拥有国际先进的MEMS和CMOS电路设计及模拟软件,MEMS传感器及微型分析仪器的组装和测试设备。已成为国内IC和MEMS器件集成的加工的重要平台,现有一条4英寸2μmCMOS生产线,一条6英寸0.8μmBiCMOS生产线正在试运行中。MEMS测量技术及应用MEMS测量精度可...
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