湿法刻蚀设备项目可行性研究报告编写日期：二零二二年三月1目录第一章总论................................................................................11.1项目概要...............................................................11.1.1项目名称..................................................................................................................11.1.2项目建设单位..............................
深硅刻蚀项目可行性研究报告编写日期：二零二二年三月1目录第一章总论................................................................................11.1项目概要...............................................................11.1.1项目名称..................................................................................................................11.1.2项目建设单位..................................
刻蚀设备项目可行性研究报告编写日期：二零二二年三月1目录第一章总论................................................................................11.1项目概要...............................................................11.1.1项目名称..................................................................................................................11.1.2项目建设单位..................................
等离子刻蚀设备项目可行性研究报告编写日期：二零二二年三月1目录第一章总论................................................................................11.1项目概要...............................................................11.1.1项目名称..................................................................................................................11.1.2项目建设单位............................
晶体硅太阳能电池生产线刻蚀工序介绍一、刻蚀工序根本作用目前常规太阳电池的生产流程如下：刻蚀作为太阳电池生产中的第三道工序，其主要作用是去除集中后硅片四周的N型硅，防止漏电。刻蚀一般状况下和去PSG联系在一起，去PSG顾名思义，其作用是去掉集中前的磷硅玻璃。反响方程式如下：SiO2+6HF=H2SiF6+2H2O具体的刻蚀示意图如下：二、刻蚀的根本分类以及一般工艺流程目前，晶体硅太阳电池一般承受干法和湿法两种刻蚀方法。下面...
文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号SerialNo.生效日期Effectiveon第1页共21页1of20编写人Author审核人Checkedby批准人Approvedby版本Version文件版本日期修订页次描述质量部技术部工艺部设备部制造部文件名称：刻蚀工序操作作业指导书文件编号SerialNo.生效日期Effectiveon第2页共21页2of20编写人Author审核人Checkedby批准人Approvedby版本Version名目1.目的............................................................
