集成电路制造技术原理与工艺[王蔚][习题答案(第2单元)

12QQ其次单元习题解答1.SiO2膜网络构造特点是什么？氧和杂质在SiO2网络构造中的作用和用途是什么？对SiO2膜性能有哪些影响？二氧化硅的根本构造单元为Si-O四周体网络状构造，四周体中心为硅原子，四个顶角上为氧原子。对SiO2网络在构造上具备“长程无序、短程有序”的一类固态无定形体或玻璃体。半导体工艺中形成和利用的都是这种无定形的玻璃态SiO。氧在SiO2网络中起桥联氧原子或非桥联氧原子作用，桥联氧原子的数目越多，网络...