LDS2000使用说明书1/111使用说明书产品号软件版号模件式检漏仪1LDS2000使用说明书2/1111前言1-11.1使用本手册注意事项1-11.1.1安全符号1-11.1.2指示符1-21.1.3真空符号1-21.1.4术语定义1-21.2INFICON服务支持1-31.2.1维修中心1-42安全2-12.1正确使用2-12.2人员2-22.3使用的符号2-32.4责任和保用2-42.5一般安全准则与规定2-43技术参数3-13.1概言3-13.2环境要求3-13.3电源连接3-23.4物理参数3-23.4.1真空方法3-33.4.2吸枪方法3-33...