光学薄膜制备中的膜厚监控系统
物工院薄膜组2011.03.291FTM-V膜厚监控仪技术使用说明书目录FTM-V膜厚监控仪简介第一节主要技术规范FTM-V监控仪技术规范标准探头技术规范带档板探头技术规范折封、初次安装和清点第二节编程、操作面板描述后板描述参数设置(编程方法)操作方法人工终止镀膜第三节安装与连接仪器安装连接后板接头探头装配安装探头校验探头安装第四节校正2材料密度校正工具因子的确定材料声阻校正工作原理几点说明第五节维护与修理探头故障、原因、...
